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UV LED Lithography
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UV-LED scan expose system
Expose Method
Double-Sided
Light Source
UV-LED 365nm or 405nm
Light Source Power
0.6kW SMPS
UV Light Intensity
150mW/cm^2 (medium)
Line Pattern Resolution
~ 50μm
UV-LED scan expose system 상세정보 안내
ⓒ Samiltech. ALL RIGHTS RESERVED.
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